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美國ZETA光學輪廓儀

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三維光學輪廓儀

產品型號：zeta-20
更新時間：2024-10-25

簡要描述：zeta 三維光學輪廓儀：的三維成像和測量，多功能光學測試模組，多樣化的測試平臺（手動、自動測試臺）Z*的3D成像及測試系統（為用戶量身打造的表面輪廓測量設備，是表面量測領域的Z佳選擇）。

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產品詳情

型號：Zeta-20

產品：三維光學輪廓儀

品牌：Zeta澤塔

簡介：zui*的3D成像及測試系統（為用戶量身打造的表面輪廓測量設備，是表面量測領域的*選擇）

三維光學輪廓儀特點

◆ 功能齊全，操作簡易，用途廣泛的Zeta-20

ZDotTM技術擅于對高粗糙度、低反射率的表面進行成像分析

·具有防反射涂層的太陽能電池片
·圖形化/蝕刻的LED基板
·生物微機電、微機電系統和微流體槽
·透明的多表面樣品成像

快速獲取數據

·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度
·簡明易學的軟件操作界面

強大的三維分析功能

·臺階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性
·數據輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容

◆ 高度的靈活性

測量復雜的表面特征

從深槽到金剛石鋼線，Zeta-20強大的成像能力可對各種復雜表面進行測量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設備測量。

選項配置齊全

在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預測。因此，Zeta-20使用模塊化設計理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求。
·薄膜厚度光譜儀
·可測量納米級粗糙度的QDIC/Nomarski選項
·iX5干涉物鏡
·Z軸分辨率高達2nm的壓電陶瓷載臺
·傾斜載臺和真空吸附卡具
·自動特征提取和測量軟件
·自動表面面積測量、統計分析 ...以及其它眾多選項！

◆ 特定行業的測量應用

太陽能電池片表面分析：

·自動測量柵線的高度、寬度和體積
·單晶硅和多晶硅表面面積和絨面分析
·氮化硅防反射層薄膜厚度測量
·多點、自動柵線測量
·156mm太陽能電池片真空吸附載臺

LED 和圖形化藍寶石基板(PSS)分析

·自動測量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蝕刻后PSS特征
·自動定位和測量外延后Mesa的粗糙度
·適用于2"、4"和6"晶圓的真空載臺

微流體和微機電的測量分析

·透明的多層表面輪廓測量
·深槽、深井以及其它高縱深比的特征點測量
·靈活的、可自定義的橫截面及測量點的設置

簡便、易用的測量方法

·自動載物臺支持多點測量序列和三維圖像拼接
·自動坡度和波度補償
·自動將待測表面調成水平
·自動測量高度、尺寸、角度、面積和體積
·自動測量線粗糙度和面粗糙度

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